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    • 芯源微

    上海芯源微企業(yè)發(fā)展有限公司

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    專利信息8

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種不間斷式進(jìn)片回片裝置及控制方法 發(fā)明專利 CN201710356787.9 CN108962804B 2021-08-10
    2 一種晶片濕法處理設(shè)備送風(fēng)結(jié)構(gòu) 發(fā)明專利 CN201711155443.8 CN109817542B 2021-05-04
    3 一種晶片濕法處理設(shè)備送風(fēng)結(jié)構(gòu) 發(fā)明專利 CN201711155443.8 CN109817542A 2019-05-28
    4 一種不間斷式進(jìn)片回片裝置及控制方法 發(fā)明專利 CN201710356787.9 CN108962804A 2018-12-07
    5 一種基板翻轉(zhuǎn)對(duì)中裝置 發(fā)明專利 CN201210455202.6 CN103811397B 2016-06-01
    6 一種半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的流體脫泡裝置和方法 發(fā)明專利 CN201310368461.X CN104415579B 2016-03-16
    7 一種半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的流體脫泡裝置和方法 發(fā)明專利 CN201310368461.X CN104415579A 2015-03-18
    8 一種基板翻轉(zhuǎn)對(duì)中裝置 發(fā)明專利 CN201210455202.6 CN103811397A 2014-05-21

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