一種不間斷式進片回片裝置及控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710356787.9 申請日 -
公開（公告）號 CN108962804A 公開（公告）日 2018-12-07
申請公布號 CN108962804A 申請公布日 2018-12-07
分類號 H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 彭博;洪旭東 申請（專利權）人 上海芯源微企業(yè)發(fā)展有限公司
代理機構 沈陽科苑專利商標代理有限公司 代理人 李巨智
地址 201306 上海市浦東新區(qū)臨港新片區(qū)旭日路501號1幢201、202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種不間斷式進片回片裝置，在底部設置LOADPORT，從左向右依次為第一LOADPORT、第二LOADPORT、第三LOADPORT和第四LOADPORT，在第一LOADPORT和第四LOADPORT的對應上方分別設置第一緩存區(qū)和第二緩存區(qū)，用于臨時存放FOUP緩存；在第一緩存區(qū)和第二緩存區(qū)的對應上方分別設置出片區(qū)和進片區(qū)，用于天車取放FOUP；還包括傳送機構，用于在LOADPORT、緩存區(qū)、進片區(qū)、出片區(qū)之間傳遞FOUP，設置于與LOADPORT和緩存區(qū)所在平面不同且平行的平面內。本發(fā)明采用平面內FOUP交換功能，大大提高空間利用率，節(jié)省資源；采用雙側單獨內循環(huán)方式進行循環(huán)，增加FOUP利用率；避免由于多單元換片盒時，片盒都空載等待回片而短時間不能進片的影響，實現無間斷連續(xù)送片。