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    • 華慧科銳

    華慧科銳（天津）科技有限公司

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    • 地址：天津市濱海新區(qū)中新天津生態(tài)城中天大道1620號(hào)生態(tài)科技園啟發(fā)大廈11層101室
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    專(zhuān)利信息12

    序號(hào) 專(zhuān)利名稱(chēng) 專(zhuān)利類(lèi)型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種電子束蒸鍍?cè)O(shè)備用可同時(shí)自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的樣片盤(pán)載具 實(shí)用新型 CN202022703197.9 CN213895980U 2021-08-06
    2 一種磁控濺射設(shè)備用樣品固定輔助工裝 實(shí)用新型 CN202022714343.8 CN213680870U 2021-07-13
    3 一種單片晶圓顯影花籃 實(shí)用新型 CN202022714905.9 CN213340308U 2021-06-01
    4 分布反饋式激光器的不規(guī)則反射鏡結(jié)構(gòu) 發(fā)明專(zhuān)利 CN202011457059.5 CN112688163A 2021-04-20
    5 基于W3光子晶體缺陷波導(dǎo)的分布式反饋激光器及制備方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN202010671274.9 CN111916998A 2020-11-10
    6 一種可移動(dòng)的光刻板固定夾具 實(shí)用新型 CN201920519600.7 CN211403119U 2020-09-01
    7 分布反饋式激光器的新型電流阻擋層結(jié)構(gòu) 發(fā)明專(zhuān)利 CN202010177604.9 CN111370997A 2020-07-03
    8 基于平面螺型結(jié)的耐高壓元件 實(shí)用新型 CN201921625029.3 CN210467849U 2020-05-05
    9 一種化學(xué)氣相沉積和掃描電鏡聯(lián)用設(shè)備 實(shí)用新型 CN201920976449.X CN210198999U 2020-03-27
    10 一種適用于小尺寸基片的光刻用真空基片夾具 實(shí)用新型 CN201920524111.0 CN209980011U 2020-01-21

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