一種可移動(dòng)的光刻板固定夾具
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920519600.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211403119U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-09-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211403119U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 曲迪;閆青芝;陳墨;白國(guó)人;宋學(xué)穎;靳春艷 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 華慧科銳（天津）科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 天津市鼎和專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 天津華慧芯科技集團(tuán)有限公司;華慧科銳（天津）科技有限公司 |
| 地址 | 300467天津市濱海新區(qū)生態(tài)城中天大道1620號(hào)生態(tài)科技園啟發(fā)大廈12層101 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種可移動(dòng)的光刻板固定夾具，涉及半導(dǎo)體制備設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括可移動(dòng)的支撐臺(tái)和若干組真空吸附裝置，涉及半導(dǎo)體制備設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，所述支撐臺(tái)上開(kāi)設(shè)有圓形通孔，所述真空吸附裝置沿所述通孔的周向均勻的設(shè)在支撐臺(tái)的上端面；光刻板通過(guò)真空吸附裝置居中的吸附在支撐臺(tái)的下端面。每組所述真空吸附裝置包括若干個(gè)與所述通孔同軸設(shè)置的通透真空孔，每組真空吸附裝置中的真空孔上端面設(shè)有一個(gè)與支撐臺(tái)吸附的真空吸盤(pán)；所述真空吸盤(pán)的底部中心設(shè)有與該組真空孔連通的真空管；所有真空管的末端與一個(gè)真空開(kāi)關(guān)連接。該固定夾具不僅便于調(diào)整光刻板位置、而且使用方便快捷，能根據(jù)需要隨時(shí)移動(dòng)到指定位置。?? |
