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    序號(hào) 專(zhuān)利名稱(chēng) 專(zhuān)利類(lèi)型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種槽體清洗、保養(yǎng)和維護(hù)方法及清洗槽系統(tǒng) 發(fā)明專(zhuān)利 CN202010002883.5 CN111014205B 2021-06-25
    2 一種槽體清洗、保養(yǎng)和維護(hù)方法及清洗槽系統(tǒng) 發(fā)明專(zhuān)利 CN202010002883.5 CN111014205A 2021-06-25
    3 一種衰減型高均勻的相移光掩膜坯料及其制備方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN202011400325.0 CN112666789A 2021-04-16
    4 一種掩膜版玻璃基板的清洗方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN201810890472.7 CN109047160B 2021-03-09
    5 一種涂膠臺(tái) 實(shí)用新型 CN201821267075.6 CN209020706U 2019-06-25
    6 一種激光防偽用掩膜版及其制作方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN201811511608.5 CN109856907A 2019-06-07
    7 一種掩膜版玻璃基板的清洗方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN201810890472.7 CN109047160A 2018-12-21
    8 一種涂膠臺(tái) 發(fā)明專(zhuān)利 CN201810892007.7 CN108745803A 2018-11-06
    9 光掩膜坯料及其制備方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN201310646364.2 CN103616794B 2017-11-24
    10 圓形鍍膜片 外觀專(zhuān)利 CN201630463002.4 CN304139223S 2017-05-17

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