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    • 臨港凱世

    上海臨港凱世通半導(dǎo)體有限公司

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    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開（公告）號(hào) 公布日期
    1 離子束能量控制裝置 發(fā)明專利 CN201910340903.7 CN111863576A 2020-10-30
    2 電磁透鏡組中帶電粒子束的控制方法及系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN201910339992.3 CN111863572A 2020-10-30
    3 離子注入機(jī)的作業(yè)平臺(tái) 實(shí)用新型 CN202020455344.2 CN211788912U 2020-10-27
    4 離子源引出電極系統(tǒng) 實(shí)用新型 CN202020259894.7 CN211788911U 2020-10-27
    5 硅片輸運(yùn)裝置 實(shí)用新型 CN202020286883.8 CN211529927U 2020-09-18
    6 真空過濾裝置及系統(tǒng) 實(shí)用新型 CN201922002042.X CN211513831U 2020-09-18
    7 FinFET的摻雜方法 發(fā)明專利 CN201510107549.5 CN106033715B 2019-03-22
    8 離子注入設(shè)備及方法 發(fā)明專利 CN201710712869.2 CN109148246A 2019-01-04
    9 束流檢測(cè)裝置 發(fā)明專利 CN201611129377.2 CN108615666A 2018-10-02
    10 FinFET的摻雜方法 發(fā)明專利 CN201510107549.5 CN106033715A 2016-10-19

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