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    埃特曼(蘇州)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

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    1 樣品生長裝置、樣品生長方法及分子束外延系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN202111053039.6 CN113502535B 2021-12-10
    2 樣品生長裝置、樣品生長方法及分子束外延系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN202111053039.6 CN113502535A 2021-12-10
    3 AlN基紫外發(fā)光二極管的外延片及其制作方法 發(fā)明專利 CN202111009443.3 CN113707776A 2021-11-26

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