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專利信息2

序號	專利名稱	專利類型	申請?zhí)?/th>	公開（公告）號	公布日期
1	一種半接觸式點樣儀及微懸臂梁傳感芯片的制備方法	發(fā)明專利	CN202110492715.3	CN113189358A	2021-07-30
2	一種諧振式微懸臂梁芯片及其制備方法	發(fā)明專利	CN202110242692.0	CN113023658A	2021-06-25

軟件著作權(quán)12

序號	軟件名稱	軟件簡稱	版本號	登記號	分類號	首次發(fā)表日期	登記批準日期
1	自加熱微懸臂梁芯片良率評估系統(tǒng)	-	V1.0	2021SR1988173	-	2021-04-13	2021-12-03
2	諧振式微懸臂梁芯片良率評估系統(tǒng)	-	V1.0	2021SR1988172	-	2020-10-10	2021-12-03
3	自加熱微懸臂梁芯片溫度測試軟件	-	V1.0	2021SR1988141	-	2021-04-26	2021-12-03
4	自加熱微懸臂梁芯片設計軟件平臺	-	V1.0	2021SR1988136	-	2021-03-07	2021-12-03
5	諧振式微懸臂梁芯片設計軟件平臺	-	V1.0	2021SR1988135	-	2020-09-15	2021-12-03
6	諧振式微懸臂梁芯片氣敏測試軟件	-	V1.0	2021SR1988134	-	2020-12-17	2021-12-03
7	諧振式微懸臂梁芯片相位跟蹤系統(tǒng)	-	V1.0	2021SR1988133	-	2020-11-25	2021-12-03
8	環(huán)境原位透射電鏡芯片程序升溫軟件	-	V1.0	2021SR1988039	-	2021-08-15	2021-12-03
9	環(huán)境原位透射電鏡芯片良率評估系統(tǒng)	-	V1.0	2021SR1988038	-	2021-07-12	2021-12-03
10	環(huán)境原位透射電鏡芯片測試軟件	-	V1.0	2021SR1988037	-	2021-08-15	2021-12-03

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序號	網(wǎng)站名	網(wǎng)址	備案號	主辦單位性質(zhì)	審核日期
1	-	www.mems-resonator.com	滬ICP備2020031169號	企業(yè)	2020-10-15

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