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    法博思（寧波）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

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    1 一種碳化硅微管檢測(cè)裝置及方法 發(fā)明專利 CN202011510804.8 CN112666166A 2021-04-16
    2 一種物鏡自動(dòng)對(duì)焦裝置 實(shí)用新型 CN202020328147.4 CN211577540U 2020-09-25
    3 3D形貌測(cè)量誤差的在線補(bǔ)償測(cè)量裝置 實(shí)用新型 CN201920238210.2 CN209230556U 2019-08-09

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