一種碳化硅微管檢測裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011510804.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112666166A 公開（公告）日 2021-04-16
申請公布號 CN112666166A 申請公布日 2021-04-16
分類號 G01N21/88;G01N21/95 分類 測量；測試;
發(fā)明人 黃英俊;馬軍 申請（專利權）人 法博思（寧波）半導體設備有限公司
代理機構 北京知呱呱知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 丁彥峰
地址 201600 上海市松江區(qū)中山街道明南路85號15幢1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種碳化硅微管檢測裝及方法置，所述裝置包括：相機成像裝置、光源控制器、起偏器和驗偏器，通過光源控制器控制不同的光源經(jīng)過半反射鏡偏折后，通過起偏器和驗偏器后照射被測物，生成不同的圖像，所述相機成像裝置采集圖像，判斷被測物是否存在瑕疵。本發(fā)明解決了現(xiàn)有碳化硅微管質量檢測效果不佳，導致良品率低的問題。