芯動(dòng)致遠(yuǎn)
北京芯動(dòng)致遠(yuǎn)微電子技術(shù)有限公司
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專利信息3
| 序號(hào) | 專利名稱 | 專利類型 | 申請(qǐng)?zhí)?/th> | 公開(公告)號(hào) | 公布日期 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一種采用壓阻/壓電檢測的微機(jī)械陀螺 | 發(fā)明專利 | CN202111556879.4 | CN114061556A | 2022-02-18 |
| 2 | 一種MEMS壓力傳感器芯片的圓片級(jí)測試裝置及測試方法 | 發(fā)明專利 | CN202111127429.3 | CN113866603A | 2021-12-31 |
| 3 | 一種MEMS壓力傳感器的封裝結(jié)構(gòu) | 發(fā)明專利 | CN202110809850.6 | CN113526455A | 2021-10-22 |
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