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    揚(yáng)州市神州科技有限公司

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    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 射頻電源模擬控制器 發(fā)明專利 CN201711443475.8 CN108121266B 2020-12-15
    2 基于等離子環(huán)境的射頻電源測(cè)試系統(tǒng)及測(cè)試方法 發(fā)明專利 CN201711443387.8 CN108107376B 2019-12-13
    3 真空電容測(cè)試系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN201711443963.9 CN108225420A 2018-06-29
    4 匹配器動(dòng)態(tài)測(cè)試方法 發(fā)明專利 CN201711444537.7 CN108152696A 2018-06-12
    5 射頻電源模擬控制器 發(fā)明專利 CN201711443475.8 CN108121266A 2018-06-05
    6 基于等離子環(huán)境的射頻電源測(cè)試系統(tǒng)及測(cè)試方法 發(fā)明專利 CN201711443387.8 CN108107376A 2018-06-01

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