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    蘇州天仁微納智能科技有限公司

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    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種新型自動(dòng)化旋涂加熱設(shè)備 實(shí)用新型 CN201922287181.1 CN211538427U 2020-09-22
    2 一種新型旋涂設(shè)備 實(shí)用新型 CN201922287091.2 CN211359436U 2020-08-28
    3 用于硅片批量清洗的清洗裝置 實(shí)用新型 CN201922287098.4 CN211160969U 2020-08-04
    4 一種納米模板用拼板壓印機(jī) 實(shí)用新型 CN201922287127.7 CN210835583U 2020-06-23
    5 一種防溢膠粘連裝置 實(shí)用新型 CN201922287114.X CN210835582U 2020-06-23
    6 一種均勻納米壓印設(shè)備 實(shí)用新型 CN201922287110.1 CN210803965U 2020-06-19
    7 真空負(fù)壓納米壓印方法 發(fā)明專利 CN201610790060.7 CN106200262A 2016-12-07

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