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    1 磷化銦多晶合成的熱場(chǎng)仿真研發(fā)項(xiàng)目系統(tǒng) - V1.0 2022SR0655095 - - 2022-05-27
    2 高純度磷化銦多晶生產(chǎn)用安全檢測(cè)監(jiān)控系統(tǒng) - V1.0 2022SR0655094 - - 2022-05-27
    3 半導(dǎo)體材料合成爐的冷卻水循環(huán)系統(tǒng) - V1.0 2022SR0654755 - - 2022-05-27
    4 高純度磷化銦多晶合成工藝仿真合成系統(tǒng) - V1.0 2022SR0654754 - - 2022-05-27
    5 全自動(dòng)磷化銦多晶合成裝置控制研發(fā)系統(tǒng) - V1.0 2022SR0646141 - - 2022-05-26

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