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    1 一種數(shù)字式實(shí)時射頻自動匹配器及其匹配方法 發(fā)明專利 CN201110131560.7 CN102324947A 2012-01-18
    2 一種用于MOCVD的基片加熱爐 實(shí)用新型 CN201020175315.7 CN201670873U 2010-12-15
    3 一種用于MOCVD的基片加熱爐 發(fā)明專利 CN201010160219.X CN101899650A 2010-12-01
    4 一種納米硅薄膜的制備工藝 發(fā)明專利 CN03131570.4 CN1254558C 2006-05-03
    5 一種器件級納米硅薄膜及其制備工藝 發(fā)明專利 CN03131570.4 CN1456702A 2003-11-19

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