一種低成本板式等離子體放電室

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111297272.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113942978A 公開（公告）日 2022-01-18
申請公布號 CN113942978A 申請公布日 2022-01-18
分類號 C01B13/11（2006.01）I 分類 無機化學;
發(fā)明人 王振交;尹立紅;江鐵軍 申請（專利權）人 蘇州晶拓半導體科技有限公司
代理機構 南京科知維創(chuàng)知識產權代理有限責任公司 代理人 潘亞琳
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)婁葑北區(qū)創(chuàng)投工業(yè)坊20號廠房三樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種低成本板式等離子體放電室，該放電室包括第一固定件、第二固定件、以及自上至下依次固定在第一固定件和第二固定件之間的多組放電單元，通過在第一固定件上設置總進氣通道和多個子進氣通道、在第二固定件上設置總出氣通道和多個子出氣通道，多組放電單元分別與多個子進氣通道一一對應連通以使原料氣進入，多組放電單元分別與多個子出氣通道一一對應連通以將產生的臭氧氣體輸送出去，有效地減少了管路與VCR接頭的使用，大幅降低了成本，同時改善了氣體壓力損失，且放電室整體體積縮小，方便進行設備小型化。