一種具有過壓保護功能的臭氧系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023076145.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213802922U 公開（公告）日 2021-07-27
申請公布號 CN213802922U 申請公布日 2021-07-27
分類號 C01B13/11（2006.01）I;F17D1/02（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I;F17D3/18（2006.01）I;F17D5/00（2006.01）I 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 王振交;艾凡凡;江鐵軍 申請（專利權(quán)）人 蘇州晶拓半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 南京科知維創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 許益民
地址 215000 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)婁葑北區(qū)創(chuàng)投工業(yè)坊20號廠房一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種具有過壓保護功能的臭氧系統(tǒng)，包括氣源模塊、臭氧發(fā)生模塊和控制模塊，氣源模塊用于提供原料氣，臭氧發(fā)生模塊包括臭氧發(fā)生器、進氣管和出氣管，臭氧發(fā)生器通過進氣管與氣源模塊連接，進氣管上設(shè)有氣體流量計，出氣管依次連接臭氧發(fā)生器、臭氧比例控制閥、臭氧緩沖罐和臭氧過壓保護組件，臭氧緩沖罐和臭氧過壓保護組件之間的出氣管上設(shè)有第一壓力傳感器，第一壓力傳感器的輸出端與控制模塊的輸入端電性連接，控制模塊的輸出端與氣源模塊電性連接，控制模塊的輸出端與臭氧發(fā)生器電性連接。