一種板式臭氧發(fā)生器放電室

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022908430.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213771342U 公開（公告）日 2021-07-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN213771342U 申請(qǐng)公布日 2021-07-23
分類號(hào) C01B13/11（2006.01）I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 王振交;艾凡凡;江鐵軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州晶拓半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京科知維創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 許益民
地址 215121江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)蘇虹中路77號(hào)208室東單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種板式臭氧發(fā)生器放電室，通過(guò)在高壓極板的兩側(cè)設(shè)置第一介電體層、在兩塊地極板靠近高壓極板的內(nèi)側(cè)分別設(shè)置第二介電體層，使得高壓極板和兩塊地極板不直接暴露在等離子環(huán)境中，保證了放電產(chǎn)生臭氧的過(guò)程中不會(huì)引入雜質(zhì)，滿足了高純度要求；通過(guò)在高壓極板的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置兩塊地極板，實(shí)現(xiàn)了雙面對(duì)稱放電，提高了放電室的功率；通過(guò)在第一介電體層和第二介電體層之間設(shè)置氣隙形成層，通過(guò)更換不同厚度的氣隙形成層即可實(shí)現(xiàn)放電間隙的調(diào)整，放電間隙范圍為5?1000μm；通過(guò)在外殼體上設(shè)置與放電單元配合的進(jìn)氣通道、固定槽和出氣通道，進(jìn)氣和出氣都在外殼體內(nèi)進(jìn)行，提高了密封性，有效防止氣體泄漏，同時(shí)避免引入其他部件，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。