一種真空型太赫茲干燥探頭及檢測(cè)方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910723729.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112345484A | 公開（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112345484A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-09 |
| 分類號(hào) | G01N21/3581(2014.01)I; | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 王丹 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 華太極光光電技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 尹麗云 |
| 地址 | 200433上海市楊浦區(qū)軍工路1436號(hào)64幢一層A137室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提出一種真空型太赫茲干燥探頭，包括：腔體、抽真空模塊、太赫茲波發(fā)射模塊和太赫茲波接收模塊，所述腔體內(nèi)設(shè)置有用于調(diào)節(jié)太赫茲波傳輸方向的調(diào)節(jié)裝置和用于放置被測(cè)物體的置物臺(tái)；所述抽真空模塊與所述腔體對(duì)接，對(duì)所述腔體進(jìn)行抽真空；所述太赫茲波發(fā)射模塊和所述太赫茲波接收模塊設(shè)置于所述腔體外部；所述調(diào)節(jié)裝置接收所述太赫茲波發(fā)射模塊發(fā)出的太赫茲波，并將所述太赫茲波聚焦到被測(cè)物體表面；所述調(diào)節(jié)裝置將穿過所述被測(cè)物體表面的太赫茲波發(fā)送給所述太赫茲波接收模塊，對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行檢測(cè)；本發(fā)明可有效提高檢測(cè)準(zhǔn)確性，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作便捷。?? |
