一種鑄造單晶硅的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021224940.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213295568U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213295568U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-28 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B29/06(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 陳紅榮;孫庚昕;蔣利洋;居發(fā)亮;胡動(dòng)力;張華利 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇協(xié)鑫硅材料科技發(fā)展有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 董建林 |
| 地址 | 221000江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)坡里路東、黃石路南 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種鑄造單晶硅的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，包括隔熱籠，設(shè)置在隔熱籠內(nèi)部的耐高溫坩堝，設(shè)置在耐高溫坩堝底端的石墨底板、DSS石墨導(dǎo)熱板，隔熱條和石墨導(dǎo)熱條，所述DSS石墨導(dǎo)熱板的上端面為凸臺(tái)結(jié)構(gòu)，所述的隔熱條設(shè)置在所述DSS石墨導(dǎo)熱板四周的邊緣，所述的石墨導(dǎo)熱條設(shè)置在所述石墨底板、DSS石墨導(dǎo)熱板和隔熱條三者合圍的空隙中；在所述隔熱籠的底部設(shè)有至少三層石墨硬氈隔熱板，所述石墨硬氈隔熱板的邊緣自下而上呈臺(tái)階狀逐級(jí)縮減。通過(guò)采用本實(shí)用新型的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，能夠有利于熱量的散熱，從而使得長(zhǎng)晶固液界面趨向于水平面，使得邊緣硅塊的位錯(cuò)大幅度降低，利于生產(chǎn)出界面平整的籽晶，有利于單晶的鑄造。?? |
