一種集成電路光學鄰近修正并行處理的方法及其系統

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111033770.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113777877A 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN113777877A 申請公布日 2021-12-10
分類號 G03F1/36（2012.01）I;G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 趙西金;胡濱 申請（專利權）人 珠海市睿晶聚源科技有限公司
代理機構 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 代理人 盧澤明
地址 519000廣東省珠海市大學路101號3棟302
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種集成電路光學鄰近修正并行處理的方法及其系統，其特征在于，包括：S1、主節(jié)點讀取版圖數據，并根據負載平衡的原則和剖分算法，將版圖分解為各區(qū)塊；S2、將各區(qū)塊數據分別調度到多個從節(jié)點進行預處理；S3、利用并行消息傳遞接口，同步對各個區(qū)塊的圖形，進行邊切分以及控制點設置；S4、利用并行消息傳遞接口，同步對各節(jié)點區(qū)塊的版圖圖形進行邊偏移計算,根據光學模型計算邊緣放置誤差；S5、若邊緣放置誤差滿足優(yōu)化要求，結束修正，主節(jié)點合并各區(qū)塊修正結果；否則根據誤差，迭代運行所述S4，直到邊緣放置誤差滿足優(yōu)化要求。本發(fā)明法可以將整體版圖數據的每次迭代計算的邊偏移信息同步，通過規(guī)則約束，保證計算的修正圖形拼接無異常。