一種單晶爐石英導(dǎo)流筒
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201611143546.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN106521616A | 公開(kāi)（公告）日 | 2017-03-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN106521616A | 申請(qǐng)公布日 | 2017-03-22 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 洪亞麗;姜樹(shù)炎 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 寶雞市宏佳有色金屬加工有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市深聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 徐炫 |
| 地址 | 721000 陜西省寶雞市高新五路財(cái)富大廈A座1709室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種單晶爐石英導(dǎo)流筒，設(shè)有石英內(nèi)筒和內(nèi)筒支架，所述內(nèi)筒支架設(shè)在所述石英內(nèi)筒的外壁，所述石英內(nèi)筒的內(nèi)壁設(shè)有銥層，所述石英內(nèi)筒與所述內(nèi)筒支架之間設(shè)置有保溫層；所述石英內(nèi)筒為圓錐體，所述石英內(nèi)筒的上端邊緣設(shè)有裙邊；所述石英內(nèi)筒上下兩端均設(shè)有一密封的凹臺(tái)；所述石英內(nèi)筒具有光滑內(nèi)表面且四周無(wú)任何接痕；所述銥層設(shè)置于所述光滑內(nèi)表面上；所述內(nèi)筒支架為堝形，所述內(nèi)筒支架的上下兩端均具有一密封的凸臺(tái)，所述凸臺(tái)與所述凹臺(tái)相匹配使所述石英內(nèi)筒固定在所述內(nèi)筒支架上；所述內(nèi)筒支架的上端設(shè)有一小平面的軸肩；在單晶硅生長(zhǎng)過(guò)程中，導(dǎo)流筒具有較高的強(qiáng)度與隔熱性，在高溫條件下具有較高的抗裂性和抗震性。 |
