一種鉬導(dǎo)流筒及單晶爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201621361889.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN206232840U 公開（公告）日 2017-06-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN206232840U 申請(qǐng)公布日 2017-06-09
分類號(hào) C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 洪亞麗;姜樹炎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寶雞市宏佳有色金屬加工有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市深聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 徐炫
地址 721000 陜西省寶雞市高新五路財(cái)富大廈A座1709室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種鉬導(dǎo)流筒以及包含它的單晶爐，其包括鉬內(nèi)筒、保溫層、鉬外筒及安裝定位環(huán)；所述鉬內(nèi)筒與所述鉬外筒之間形成密封腔，所述保溫層設(shè)置于所述密封腔中；所述鉬內(nèi)筒具有光滑內(nèi)表面；所述鉬外筒定位安裝于所述安裝定位環(huán)，用于通過所述安裝定位環(huán)安裝所述鉬導(dǎo)流筒。采用上述方案，本實(shí)用新型通過對(duì)導(dǎo)流筒加工理念及材料的更換，在單晶硅生長過程中減少石墨材料中雜質(zhì)對(duì)單晶硅棒的污染；改變了現(xiàn)有石墨材質(zhì)導(dǎo)流筒在韌性上不足的特點(diǎn)，降低因?qū)Я魍菜榱?、脫落而引起的熱?chǎng)損壞風(fēng)險(xiǎn)；容易加工，提升產(chǎn)品使用壽命；并且能夠有效降低導(dǎo)流筒內(nèi)表面的溫度，隔斷筒內(nèi)外溫度，為硅單晶的順利生長提供一定的便利。