一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610177889.X 申請日 -
公開（公告）號 CN105711224B 公開（公告）日 2017-11-24
申請公布號 CN105711224B 申請公布日 2017-11-24
分類號 B32B37/00(2006.01)I;B32B37/10(2006.01)I;B32B37/12(2006.01)I 分類 層狀產(chǎn)品;
發(fā)明人 陳波;李順成;唐淋;余朝晃 申請（專利權(quán)）人 湖南新中合光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京志霖恒遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 湖南新中合光電科技股份有限公司;中天寬帶技術(shù)有限公司
地址 416500 湖南省湘西土家族苗族自治州保靖縣高新科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)（遷陵鎮(zhèn)梅花花井村高速路口旁）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公布了一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)，L型支架上設(shè)有壓桿；壓桿下端設(shè)有壓頭頂住壓板；下真空吸座上設(shè)有晶圓貼合臺，晶圓貼合臺中心設(shè)有圓弧吸氣凹槽，圓弧吸氣凹槽中心設(shè)有吸氣孔連通抽氣管道；晶圓貼合臺上以吸氣孔為圓心均勻設(shè)有環(huán)形導(dǎo)氣槽，晶圓貼合臺上以吸氣孔為中心呈輻射狀設(shè)有直條導(dǎo)氣槽；下真空吸座上的環(huán)形導(dǎo)氣槽與直條導(dǎo)氣槽相互連通；上真空吸座下面設(shè)有蓋板貼合臺，蓋板貼合臺中心設(shè)有圓弧吸氣凹槽，圓弧吸氣凹槽中心設(shè)有吸氣孔連通抽氣管道；蓋板貼合臺上以吸氣孔為中心呈輻射狀均勻設(shè)有直條導(dǎo)氣槽與圓弧吸氣凹槽連通；抽氣管道均連接真空泵。它能大大提高晶圓的貼片效率與質(zhì)量，保證光分路器芯片的可靠性。