一種針對(duì)超厚TiN膜層保持超硬特性同時(shí)提高韌性的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610035095.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105779936A 公開(kāi)（公告）日 2016-07-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN105779936A 申請(qǐng)公布日 2016-07-20
分類(lèi)號(hào) C23C14/06(2006.01)I;C23C14/48(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 廖斌;王宇東;姜其立;張旭;羅軍;吳先映 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 廣東省廣新創(chuàng)新研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100875 北京市海淀區(qū)新街口外大街19號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種制備超厚以及韌性高的TiN方法，其中，制備該TiN膜方法包括：采用金屬陰極真空磁過(guò)濾沉積系統(tǒng)(FCVA)，在工件表面利用高能大束流金屬離子束對(duì)工件進(jìn)行清洗；然后采用金屬真空蒸汽離子源方法(MEVVA)，在工件表面注入一層能提高膜基結(jié)合力的金屬″釘扎層″；在所述的金屬″釘扎層″之上，采用磁過(guò)濾陰極真空弧沉積方法(FCVA)，在對(duì)氣體進(jìn)氣量進(jìn)行正弦或余弦調(diào)制沉積得到超硬韌性好的厚TiN膜層；重復(fù)調(diào)制周期直至TiN膜總厚度為10-30微米。通過(guò)實(shí)施本發(fā)明，在工件沉積TiN膜具有很好韌性以及很高的顯微硬度。