一種用于半導體加工的組合式真空吸盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120857629.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214771552U 公開（公告）日 2021-11-19
申請公布號 CN214771552U 申請公布日 2021-11-19
分類號 B25B11/00（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設備；機械手;
發(fā)明人 舒宇珩 申請（專利權）人 上海菲利華石創(chuàng)科技有限公司
代理機構 上海茸恒專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 袁威
地址 201801上海市嘉定區(qū)博學路509號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于石英環(huán)類加工技術領域，具體涉及一種真空吸盤。一種用于半導體加工的組合式真空吸盤，包括石墨吸盤，還包括吸盤底座，吸盤底座頂面上設有底座凹槽，石墨吸盤底面設有向下凸起的連接塊，連接塊嵌入底座凹槽，致使石墨吸盤與吸盤底座卡接；吸盤底座上設有聯(lián)通底座凹槽內外的底座氣孔，底座氣孔上設有底座氣管，底座氣管通過底座節(jié)氣閥連接外部抽真空裝置。本實用新型對于傳統(tǒng)上盤加工石英環(huán)產品所需調試時間少，效率提高，結構簡單。