一種適用于發(fā)光二極管的剝離方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310023478.1 申請日 -
公開（公告）號 CN103943730A 公開（公告）日 2014-07-23
申請公布號 CN103943730A 申請公布日 2014-07-23
分類號 H01L33/00(2010.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王立彬;郭德博 申請（專利權(quán)）人 同方光電科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 100083 北京市海淀區(qū)清華同方科技廣場A座29層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種適用于發(fā)光二極管的剝離方法，涉及光電技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的剝離方法步驟為：在基底材料上覆蓋一層介質(zhì)膜一形成圖案一；在器件上表面覆蓋一層介質(zhì)膜二；用化學(xué)液腐蝕掉介質(zhì)膜一，介質(zhì)膜一上方的介質(zhì)膜二被剝離，基底材料上由保留的介質(zhì)膜二形成圖案二，圖案二與圖案一的圖形相反。同現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明使用非光刻膠材質(zhì)實現(xiàn)圖形化工藝，適用范圍更加廣泛。