單色結構光檢查微小顆粒的方法及設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711456615.5 申請日 -
公開（公告）號 CN108120665A 公開（公告）日 2018-06-05
申請公布號 CN108120665A 申請公布日 2018-06-05
分類號 G01N15/10 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王彩虹 申請（專利權）人 無錫奧芬光電科技有限公司
代理機構 無錫市大為專利商標事務所（普通合伙） 代理人 殷紅梅;劉海
地址 214028 江蘇省無錫市新吳區(qū)新洲路18路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種單色結構光檢查微小顆粒的方法及設備，其特征是，包括：承載系統(tǒng)，承載系統(tǒng)帶動待檢測樣品沿X軸移動以及水平轉動；光學成像系統(tǒng)，光學成像系統(tǒng)用于對待檢測樣品進行放大成像檢測，并回傳檢測圖像；光學照明系統(tǒng)，光學照明系統(tǒng)包括光源以及設置于所述光源外部的具有特定圖形的光罩；控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)與承載系統(tǒng)連接，用于控制承載系統(tǒng)沿X軸移動和帶動待檢測樣品水平轉動；以及，計算機系統(tǒng)，計算機系統(tǒng)與光學成像系統(tǒng)和控制系統(tǒng)連接，用于對光學成像系統(tǒng)回傳的檢測圖像進行處理，定量檢測凸起或凹陷；并用于輸出指令，使控制系統(tǒng)控制承載系統(tǒng)的動作。本發(fā)明可以快速、定量檢測出待檢測樣品表面的微小凸起或凹陷。