基于白光光柵干涉法的微小顆粒檢查方法及設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201711457893.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108169131A 公開(kāi)（公告）日 2018-06-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN108169131A 申請(qǐng)公布日 2018-06-15
分類號(hào) G01N21/01;G01N21/958 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王彩虹 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫奧芬光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無(wú)錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 殷紅梅;劉海
地址 214028江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)新洲路18路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種基于白光光柵干涉法的微小顆粒檢查方法及設(shè)備，其特征是，包括：承載系統(tǒng)；光學(xué)成像系統(tǒng)；光學(xué)照明系統(tǒng)，所述光學(xué)照明系統(tǒng)包括光源以及設(shè)置于光源前面的光柵；控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)與承載系統(tǒng)連接，用于控制承載系統(tǒng)沿X軸移動(dòng)和水平轉(zhuǎn)動(dòng)；以及，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，所述計(jì)算機(jī)系統(tǒng)與光學(xué)成像系統(tǒng)和控制系統(tǒng)連接，用于對(duì)光學(xué)成像系統(tǒng)回傳的檢測(cè)圖像進(jìn)行處理，識(shí)別圖像中待檢測(cè)樣品的表面缺陷以及用于輸出指令，使得控制系統(tǒng)控制承載系統(tǒng)的動(dòng)作。本發(fā)明可以快速檢測(cè)出待檢測(cè)樣品表面的微小凸起或凹陷。