壓力傳感器的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201510772381.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN106706175B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-03-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN106706175B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-09 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01L1/14(2006.01)I;G01L9/12(2006.01)I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 劉孟彬;毛劍宏 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海麗恒光微電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 李時(shí)云 |
| 地址 | 201203上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)龍東大道3000號(hào)5號(hào)樓501B室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明揭示了一種壓力傳感器的制備方法，包括：提供一半導(dǎo)體基板；形成壓力感應(yīng)層；在壓力感應(yīng)層上形成掩膜層；刻蝕壓力感應(yīng)層，在壓力感應(yīng)層的頂壁上未被掩膜層保護(hù)的區(qū)域形成開(kāi)口；利用第一灰化工藝去除所述掩膜層；對(duì)刻蝕后的壓力感應(yīng)層進(jìn)行濕法清洗；利用第二灰化工藝，通過(guò)所述開(kāi)口去除犧牲層，從而通過(guò)濕法去除了之前工藝過(guò)程中產(chǎn)生的聚合物又化學(xué)溶液進(jìn)入電容空腔，提高了電性的穩(wěn)定性，改善了器件的性能。?? |
