一種自動修正的Micro-LED巨量轉(zhuǎn)移裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022988667.0 申請日 -
公開（公告）號 CN214588790U 公開（公告）日 2021-11-02
申請公布號 CN214588790U 申請公布日 2021-11-02
分類號 H01L21/683（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王恩平;李志聰;王國宏;戴俊 申請（專利權(quán)）人 揚(yáng)州中科半導(dǎo)體照明有限公司
代理機(jī)構(gòu) 揚(yáng)州云洋知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 高斯博
地址 225000江蘇省揚(yáng)州市臨江路186號1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了半導(dǎo)體制造領(lǐng)域內(nèi)的，特別涉及一種自動修正的Micro?LED巨量轉(zhuǎn)移裝置。該自動修正的Micro?LED巨量轉(zhuǎn)移裝置，包括彈性薄膜，其上設(shè)置有微器件；間距擴(kuò)張裝置，其位于彈性薄膜的一側(cè)，該間距擴(kuò)張裝置包括一置放彈性薄膜的擴(kuò)張平臺；轉(zhuǎn)移裝置，其對著間距擴(kuò)張裝置；以及間距修正裝置，其內(nèi)嵌于擴(kuò)張平臺，包括一矩形修正臺，該修正臺可相對于擴(kuò)張平臺升降。本實用新型能夠修正微器件間距誤差，實現(xiàn)微器件間距調(diào)整。