一種用于硅片研磨的工裝夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821523027.9 申請日 -
公開（公告）號 CN208913853U 公開（公告）日 2019-05-31
申請公布號 CN208913853U 申請公布日 2019-05-31
分類號 B24B37/27 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 羅文斌 申請（專利權(quán)）人 江西旭陽雷迪高科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南昌新天下專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 謝德珍
地址 332000 江西省九江市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)出口加工區(qū)外錦繡大道
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于硅片研磨的工裝夾具，包括底板、壓板、環(huán)壓板，所述底板的底部端面上設(shè)有限位凸臺，限位凸臺上還鑲嵌有耐磨塊，所述底板上端位于相鄰的2個(gè)側(cè)邊上固定有側(cè)板，側(cè)板上均勻設(shè)有多個(gè)腰型孔，側(cè)板的上端固定有與底板平行的頂板，所述頂板的四周活動套裝有多根鋼柱，鋼柱垂直貫穿頂板，鋼柱的上端均固定在環(huán)壓板的底部，鋼柱的下端均固定在壓板的上端，環(huán)壓板和壓板之間經(jīng)過多根鋼柱固定連接，所述頂板上端還固定有輸出端向下的氣缸，氣缸的輸出端與壓板固定連接。本實(shí)用新型通過使用氣缸替代大螺桿，傳動更精準(zhǔn)平穩(wěn)，并且省時(shí)省力，從而減輕勞動強(qiáng)度提高作業(yè)效率。