一種自動(dòng)擴(kuò)晶工作臺(tái)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202220762561.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN216928513U | 公開（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216928513U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-08 |
| 分類號(hào) | H01L21/67（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 陳潔;陳鳴;吳曉輝 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 深圳市鷹眼在線電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京惟盛達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)園山街道保安社區(qū)聯(lián)合路13-1號(hào)1號(hào)廠房101 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于擴(kuò)晶裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種自動(dòng)擴(kuò)晶工作臺(tái)，包括擴(kuò)膜板以及用于夾壓藍(lán)膜的左晶圓壓板和右晶圓壓板，左、右晶圓壓板之間存在一徑向設(shè)置的供晶圓上料機(jī)械手水平通過的一對(duì)缺口，其中一個(gè)缺口為進(jìn)料缺口，晶圓壓板通過壓板支撐組件固定在壓膜板墊塊上，壓膜板墊塊設(shè)置在晶圓頂板的圓環(huán)上，晶圓頂板設(shè)置在晶圓工作臺(tái)底板上的擴(kuò)膜板固定件上方；所述圓環(huán)上設(shè)置有與進(jìn)料缺口對(duì)應(yīng)的扣板，所述壓膜板墊塊上設(shè)置有與扣板對(duì)應(yīng)的扣板槽，所述擴(kuò)膜板固定件上設(shè)置有與扣板對(duì)應(yīng)的推柱組件，所述圓環(huán)上設(shè)置有與推柱組件對(duì)應(yīng)的推柱槽，晶圓頂板下降時(shí)，推柱組件上端抵接扣板。通過扣板對(duì)進(jìn)料缺口提供支撐力，提高了擴(kuò)晶良率。 |
