一種基于紅外成像定位法的集成電路修補裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120196383.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214848569U 公開（公告）日 2021-11-23
申請公布號 CN214848569U 申請公布日 2021-11-23
分類號 H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王忠 申請（專利權）人 上海灝谷集成電路技術有限公司
代理機構 上海匯齊專利代理事務所（普通合伙） 代理人 童強
地址 200000上海市浦東新區(qū)川沙路1098號8幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種基于紅外成像定位法的集成電路修補裝置，包括安裝臺，所述安裝臺上固定連接有兩塊支撐板，所述支撐板上設有第一電動滑軌，兩條所述第一電動滑軌上滑動連接有安裝桿，所述安裝桿上設有第二電動滑軌，所述第二電動滑軌上滑動連接有氣缸，所述氣缸的伸縮末端固定連接有修補裝置本體，所述安裝臺上固定連接有支撐桿，所述支撐桿上轉動連接有安裝板，所述安裝臺上設有用于調節(jié)安裝板傾斜角度的調節(jié)機構，所述安裝板內設有安裝槽，所述安裝槽內設有用于固定電路板的夾緊機構。本實用新型結構合理，其能夠進行集成電路板的翻轉，從而方便修補裝置的修補，同時也大大增加修補裝置的修補效率。