一種基于視覺系統(tǒng)的晶圓缺口檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120196357.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215179767U 公開（公告）日 2021-12-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN215179767U 申請(qǐng)公布日 2021-12-14
分類號(hào) G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王忠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海灝谷集成電路技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海匯齊專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 童強(qiáng)
地址 200000上海市浦東新區(qū)川沙路1098號(hào)8幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種基于視覺系統(tǒng)的晶圓缺口檢測(cè)裝置，包括底座，所述底座上固定連接有安裝板，所述安裝板上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有安裝盤，所述安裝板內(nèi)設(shè)有安裝腔，所述安裝腔內(nèi)設(shè)有用于提供安裝盤轉(zhuǎn)動(dòng)所需動(dòng)力的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述安裝盤上設(shè)有第一安裝槽，所述第一安裝槽內(nèi)設(shè)有用于固定晶圓本體的夾緊機(jī)構(gòu)，所述底座上固定連接有安裝桿，所述安裝桿左側(cè)設(shè)有氣缸，所述氣缸的伸縮末端固定連接有連接板，所述連接板上設(shè)有檢測(cè)器，所述安裝桿上設(shè)有第二安裝槽。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，其能夠適應(yīng)不同大小的晶圓的檢測(cè)固定，且能夠?qū)A進(jìn)行全面檢測(cè)，準(zhǔn)確性更高，且檢測(cè)位置的轉(zhuǎn)換方便，可以提高檢測(cè)效率。