一種方便調(diào)節(jié)的單晶硅片研磨裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202121233011.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN215281455U | 公開（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申請公布號(hào) | CN215281455U | 申請公布日 | 2021-12-24 |
| 分類號(hào) | B24B37/10（2012.01）I;B24B37/30（2012.01）I;B24B7/22（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B27/00（2006.01）I | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 張晉美 | 申請（專利權(quán)）人 | 四川晶美硅業(yè)科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都知集市專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 魏光武 |
| 地址 | 629000四川省遂寧市創(chuàng)新工業(yè)園區(qū)明星大道 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請?zhí)峁┝艘环N方便調(diào)節(jié)的單晶硅片研磨裝置，屬于單晶硅片研磨領(lǐng)域，該一種方便調(diào)節(jié)的單晶硅片研磨裝置，包括固定機(jī)構(gòu)和研磨機(jī)構(gòu)，所述固定機(jī)構(gòu)包括研磨臺(tái)、連接套、螺栓、支桿和支撐臺(tái)，所述研磨臺(tái)表面開設(shè)有第一凹槽，所述研磨臺(tái)表面靠近所述第一凹槽外側(cè)開設(shè)有第二凹槽，所述固定板兩端分別螺紋套接在所述螺紋桿上，所述第一電機(jī)固定在所述研磨臺(tái)表面，所述第一電機(jī)與所述螺紋桿傳動(dòng)連接，所述第二電機(jī)固定在所述固定板表面，所述第二電機(jī)輸出端安裝有砂輪，所述第二電機(jī)和所述砂輪設(shè)置在所述第二凹槽正上方，該一種方便調(diào)節(jié)的單晶硅片研磨裝置可在同一個(gè)打磨槽內(nèi)調(diào)節(jié)打磨厚度，且利用螺栓即可調(diào)節(jié)過程簡單操作方便。 |
