一種硅片清洗回收水再利用裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121237750.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215299196U 公開（公告）日 2021-12-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN215299196U 申請(qǐng)公布日 2021-12-24
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 龔大成 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 四川晶美硅業(yè)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都知集市專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 魏光武
地址 629000四川省遂寧市創(chuàng)新工業(yè)園區(qū)明星大道
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N硅片清洗回收水再利用裝置，屬于硅片清洗回收技術(shù)領(lǐng)域。該裝置包括底座和清洗回收機(jī)構(gòu)，所述第一電機(jī)與所述伸縮桿傳動(dòng)連接，所述固定盒設(shè)置于所述伸縮桿頂部，所述馬達(dá)輸出軸貫穿所述固定盒連接有雙向螺桿，所述雙向螺桿表面螺栓連接有夾板，所述夾板對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)，所述收集箱設(shè)于所述伸縮桿一側(cè)，所述收集箱頂部設(shè)置有連通于所述固定盒的收集管，所述收集箱一側(cè)設(shè)置有套管，所述水箱一側(cè)設(shè)置有與所述套管活動(dòng)連接的內(nèi)管，所述水箱另一側(cè)通過軟管連接有水泵，所述水泵通過軟管連通有水槍，所述立桿頂部與所述水槍轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述驅(qū)動(dòng)件與所述水槍傳動(dòng)連接，該裝置便于調(diào)節(jié)硅片沖洗的角度且可收集清洗后的水。