一種硅片清洗烘干裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121233010.1 申請日 -
公開（公告）號 CN215299195U 公開（公告）日 2021-12-24
申請公布號 CN215299195U 申請公布日 2021-12-24
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張晉美 申請（專利權(quán)）人 四川晶美硅業(yè)科技有限公司
代理機構(gòu) 成都知集市專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 魏光武
地址 629000四川省遂寧市創(chuàng)新工業(yè)園區(qū)明星大道
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N硅片清洗烘干裝置，屬于硅片清洗裝置領(lǐng)域，該一種硅片清洗烘干裝置，包括清洗機構(gòu)和烘干機構(gòu)，所述清洗機構(gòu)包括清洗箱、螺紋桿、固定板、電機和第一水泵，所述清洗箱一端開通，所述螺紋桿兩端轉(zhuǎn)動連接在所述清洗箱內(nèi)壁，所述烘干機構(gòu)包括支架、電動推桿、蓋板和熱風(fēng)機，所述支架固定在所述清洗箱頂面，所述電動推桿固定在所述支架一側(cè)，所述蓋板固定在所述電動推桿輸出端，所述熱風(fēng)機固定在所述蓋板一側(cè)，所述熱風(fēng)機一端連接有風(fēng)管，所述風(fēng)管穿透所述蓋板表面朝向所述清洗箱內(nèi)部，該一種硅片清洗烘干裝置利用底部循環(huán)泵對雜質(zhì)進行吸附，使得清洗液始終保持較澄清清洗效果好。