一種可升降晶圓盒

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120778906.1 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN214428612U 公開（公告）日 2021-10-19
申請公布號(hào) CN214428612U 申請公布日 2021-10-19
分類號(hào) H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃世昌;劉政;王徐亮;祝曉釗;馮敏強(qiáng) 申請（專利權(quán)）人 江蘇集萃有機(jī)光電技術(shù)研究所有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州市中南偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱振德
地址 215000 江蘇省蘇州市吳江區(qū)黎里鎮(zhèn)汾湖大道1198號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種可升降晶圓盒，包括殼體，殼體內(nèi)部設(shè)置有多個(gè)晶圓格，每個(gè)晶圓格上均設(shè)置有開口槽體，開口槽體內(nèi)連接有儲(chǔ)存格體，儲(chǔ)存格體由卡扣機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)和開口槽體相固定或脫離，儲(chǔ)存格體和開口槽體之間還連接有彈升件。本實(shí)用新型可以實(shí)現(xiàn)將晶圓片準(zhǔn)確快速地插入相應(yīng)的儲(chǔ)存格體中，保證晶圓片有序規(guī)則的排放。