一種蒸發(fā)舟

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022976483.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213924988U 公開(kāi)（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN213924988U 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類(lèi)號(hào) C23C14/26（2006.01）I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 徐蒙蒙;陶培培;陳千里;史曉波 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江蘇集萃有機(jī)光電技術(shù)研究所有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專(zhuān)利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 215000江蘇省蘇州市吳江區(qū)黎里鎮(zhèn)汾湖大道1198號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種蒸發(fā)舟，通過(guò)在舟體中設(shè)置第一遮擋板、第二遮擋板和第三遮擋板，使得熔融的蒸鍍材料濺射出的大顆粒原子被第一遮擋板、第二遮擋板和第三遮擋板來(lái)回反射，經(jīng)過(guò)多次反射之后，分解為小顆粒，在本質(zhì)上解決蒸鍍材料濺射引起的短路問(wèn)題。