一種腔體運(yùn)行狀態(tài)視覺(jué)監(jiān)測(cè)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202123297750.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216718227U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216718227U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-10 |
| 分類號(hào) | G01N21/84（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 沈愛(ài)華 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無(wú)錫華瑛微電子技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州言思嘉信專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 214000江蘇省無(wú)錫市新區(qū)震澤路18號(hào)無(wú)錫（國(guó)家）軟件園鯨魚(yú)座A幢1樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種腔體運(yùn)行狀態(tài)視覺(jué)監(jiān)測(cè)裝置，包括裝置主體、開(kāi)口處滑軌、升降門(mén)和相機(jī)，所述裝置主體上設(shè)置有相機(jī)，所述相機(jī)通過(guò)電性連接有圖像收集控制系統(tǒng)，所述裝置主體上設(shè)置有擋板和上腔體，所述裝置主體內(nèi)設(shè)置有一號(hào)下腔體和二號(hào)下腔體，所述二號(hào)下腔體底部設(shè)置有氣囊，所述氣囊上放置有升降氣缸，所述升降氣缸貫穿一號(hào)下腔體連接有PIN，所述PIN上連接有晶圓，所述裝置主體開(kāi)口處放置有機(jī)械手。本實(shí)用新型通過(guò)裝置主體內(nèi)分為上腔體和下腔體兩個(gè)部分，以及，氣囊?guī)?dòng)升降氣缸的升降帶動(dòng)PIN和晶圓的升降，PIN和晶圓的運(yùn)行情況能被相機(jī)實(shí)時(shí)采集，通過(guò)圖像采集系統(tǒng)將數(shù)據(jù)收集和模板匹配，對(duì)腔體內(nèi)的黑暗情況下，各個(gè)電子元件的運(yùn)行監(jiān)測(cè)。 |
