一種CVD設(shè)備尾氣收集處理裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821573000.0 申請日 -
公開（公告）號 CN209271162U 公開（公告）日 2019-08-20
申請公布號 CN209271162U 申請公布日 2019-08-20
分類號 B01D53/78（2006.01）I; B01D53/68（2006.01）I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 劉宏明; 左浩 申請（專利權(quán)）人 西安碳星半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 北京盛凡智榮知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 西安碳星半導(dǎo)體科技有限公司
地址 710000 陜西省西安市國家民用航天產(chǎn)業(yè)基地東長安街888號LED產(chǎn)業(yè)園1號樓1層廠房南半部
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種CVD設(shè)備尾氣收集處理裝置，包括處理箱，所述處理箱的下表面中間位置固定連接有進氣管，所述進氣管的一側(cè)側(cè)壁鉸接有投放門，所述投放門的一側(cè)側(cè)壁固定連接有把手，所述投放門的側(cè)壁靠近把手的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有卡接塊，所述卡接塊設(shè)置在把手的下方，所述進氣管的側(cè)壁靠近投放門的一側(cè)縱向開設(shè)有滑槽，所述滑槽的內(nèi)部滑動連接有滑塊，所述滑槽的內(nèi)側(cè)壁固定連接有壓縮彈簧，所述壓縮彈簧的另一端與滑塊固定連接，所述處理箱的內(nèi)部底部位置固定連接有澄清石灰水箱和通氣管。本實用新型廢氣收集處理的效果好，尤其是氯化氫氣體和氟化氫氣體，避免資源的浪費和環(huán)境的污染，過濾裝置可以方便拆卸和安裝，便于清理。