一種用于超薄單晶金剛石襯底研磨的夾具結(jié)構(gòu)及制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811428534.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109623631A 公開(kāi)（公告）日 2019-04-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN109623631A 申請(qǐng)公布日 2019-04-16
分類(lèi)號(hào) B24B37/30（2012.01）I 分類(lèi) 磨削；拋光;
發(fā)明人 李升; 左浩; 劉宏明 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 西安碳星半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 石家莊領(lǐng)皓專(zhuān)利代理有限公司 代理人 西安碳星半導(dǎo)體科技有限公司
地址 710000 陜西省西安市國(guó)家民用航天產(chǎn)業(yè)基地東長(zhǎng)安街888號(hào)LED產(chǎn)業(yè)園1號(hào)樓1層廠房南半部
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及金剛石生長(zhǎng)的技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于超薄單晶金剛石襯底研磨的夾具結(jié)構(gòu)及制作方法，其可以減少研磨失誤，方便多個(gè)金剛石襯底進(jìn)行同時(shí)研磨，減少耗費(fèi)時(shí)間；其結(jié)構(gòu)包括固定柱、多組支撐板和多組調(diào)節(jié)螺紋桿，固定柱頂部邊緣區(qū)域設(shè)置有多組放置槽，并在固定柱底部邊緣區(qū)域設(shè)置有多組調(diào)節(jié)孔，多組調(diào)節(jié)孔分別與多組放置槽連通，并在多組調(diào)節(jié)孔內(nèi)壁上分別設(shè)置有與多組調(diào)節(jié)螺紋桿相對(duì)應(yīng)的內(nèi)螺紋，多組調(diào)節(jié)螺紋桿底端分別設(shè)置有多組旋轉(zhuǎn)板，其制作方法包括以下步驟：（1）開(kāi)槽處理；（2）車(chē)螺紋；（3）清理廢屑；（4）黏貼防滑墊和緩沖墊；（5）清理浮膠；（6）螺紋桿安裝；（7）繪制刻度；（8）焊接處理。