金剛石有序排布的研磨修整器的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110848719.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113529154A 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN113529154A 申請公布日 2021-10-22
分類號 C25D15/00;C25D3/12;C25D5/36;C25D7/00;B24B53/12;B24B53/017 分類 電解或電泳工藝；其所用設備〔4〕;
發(fā)明人 鄒余耀;張富緯 申請（專利權）人 江蘇三超金剛石工具有限公司
代理機構 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務所（普通合伙） 代理人 劉松
地址 212400 江蘇省鎮(zhèn)江市經濟開發(fā)區(qū)致遠路66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導體生產制造技術領域，具體公開了一種金剛石有序排布的研磨修整器的制備方法。其包括如下步驟：S1、絲網印刷油墨層：利用絲網印刷法在基體表面涂布印刷一層設定圖案的油墨層；S2、電鍍金剛石：采用埋砂法在表面印刷好設定圖案油墨層的基體上電鍍金剛石；S3、去除油墨層：將電鍍金剛石后的基體放入堿溶液中浸泡使油墨層去除，得到去除油墨的基體；S4、基體整面電鍍加厚：將去除油墨的基體放入電鍍液中進行基體整面電鍍加厚，得到金剛石有序排布的研磨修整器。本發(fā)明相比光刻膠法，工藝簡單、周期短、易操作，油墨成本低，有利于大規(guī)模推廣。本方法制備的金剛石研磨修整器，金剛石把持力高達50N以上。