晶圓供液裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911405318.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113130344A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113130344A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-16 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 韓陽(yáng);賈社娜;何西登;陶曉峰;王暉 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 余明偉 |
| 地址 | 201203上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蔡倫路1690號(hào)第4幢 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種晶圓供液裝置，包括噴嘴、升降桿、支撐件及高度調(diào)節(jié)件；其中，升降桿包括第一端及相對(duì)的第二端，升降桿的第一端與噴嘴固定連接；支撐件中設(shè)置有容納升降桿的第二端的容納空間；高度調(diào)節(jié)件包括第一端及相對(duì)的第二端，高度調(diào)節(jié)件的第一端與升降桿相連接，高度調(diào)節(jié)件的第二端與支撐件相連接，且高度調(diào)節(jié)件的調(diào)節(jié)精度的等級(jí)包括微米級(jí)或毫米級(jí)，以通過(guò)具有高精度的高度調(diào)節(jié)件與升降桿及支撐件的相互作用，實(shí)現(xiàn)對(duì)噴嘴的高度的精調(diào)，以滿(mǎn)足制程的需要，制備高質(zhì)量的晶圓。 |
