晶圓卡盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911405362.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113130370A 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN113130370A 申請公布日 2021-07-16
分類號 H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王鶴;陶曉峰;賈社娜;韓陽;王暉 申請（專利權）人 盛美半導體設備（上海）股份有限公司
代理機構 上海光華專利事務所（普通合伙） 代理人 余明偉
地址 201203上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)蔡倫路1690號第4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓卡盤，底座包括軌道；旋轉輪位于底座上，且與底座活動連接；滑塊與軌道對應設置，且位于軌道中；晶圓限位件與滑塊對應設置，并與滑塊固定連接，以構成中心對稱圖形，且對稱中心與旋轉輪的中心位于同一軸線上；驅動器與旋轉輪相連接；連接桿與旋轉輪及滑塊活動連接，從而通過驅動器驅動旋轉輪旋轉，旋轉輪通過連接桿帶動滑塊運行，以驅使多個晶圓限位件沿徑線同步運行，在確保對晶圓固定的同時，使晶圓的中心與旋轉輪的中心始終位于同一軸線上，從而在對晶圓進行夾持或卸載時，以及在將晶圓卡盤與旋轉軸件連接時，均可實現(xiàn)對晶圓的對心操作，提高晶圓的位置穩(wěn)定性，獲得高質量的晶圓。