電鍍裝置及電鍍方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201880100523.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113423874A 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN113423874A 申請公布日 2021-09-21
分類號 C25D17/00（2006.01）I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 金一諾;楊宏超;王堅(jiān);王暉 申請（專利權(quán)）人 盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 陸嘉
地址 201203上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蔡倫路1690號第4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種在基板上電鍍金屬層的電鍍裝置及電鍍方法。在一個實(shí)施例中，一電鍍方法包括以下步驟：步驟1：將基板浸入電鍍腔內(nèi)的電鍍液中，所述電鍍腔包括至少一個第一陽極和一個第二陽極（3001）；步驟2：打開第一電鍍電源向第一陽極供電并設(shè)置第一電鍍電源輸出的功率值為P11并持續(xù)一時間段T11（3002）；步驟3：當(dāng)時間段T11結(jié)束時，調(diào)節(jié)第一電鍍電源使其輸出的功率值為P12并持續(xù)一時間段T11，與此同時，打開第二電鍍電源向第二陽極供電并設(shè)置第二電鍍電源輸出的功率值為P21并持續(xù)一時間段T11（3003）；以及步驟4：當(dāng)時間段T21結(jié)束時，調(diào)節(jié)第二電鍍電源使其輸出的功率值為P22并持續(xù)一時間段T11；其中，步驟2至步驟4周期性執(zhí)行。