電化學(xué)拋光液回收裝置與方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911410727.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113122905A 公開（公告）日 2021-07-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN113122905A 申請(qǐng)公布日 2021-07-16
分類號(hào) C25F7/02（2006.01）I;C25F3/22（2006.01）I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 吳雷;李凱強(qiáng);金一諾;吳均;王堅(jiān);王暉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 余明偉
地址 201203上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蔡倫路1690號(hào)第4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種電化學(xué)拋光液回收裝置與方法，該裝置包括：上方設(shè)有開口的電解槽，用于容納拋光液；包括電極板的極板組件；電極板包括陰極板和陽(yáng)極板，分別連接直流電源；電極板在電解時(shí)浸入拋光液并沉積固態(tài)物質(zhì)；包括刮刀的刮刀組件，用于刮除固態(tài)物質(zhì)；用于驅(qū)動(dòng)刮刀與電極板相對(duì)移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)組件，使刮刀從電極板刮除固態(tài)物質(zhì)；包括網(wǎng)兜的過濾組件，網(wǎng)兜對(duì)電極板進(jìn)行包圍隔離，用于過濾固態(tài)物質(zhì)。本發(fā)明通過引入驅(qū)動(dòng)、刮刀和過濾等組件，使析出金屬在完成電解過程后，在從電解槽中取出時(shí)自動(dòng)被刮所刮除并收集于網(wǎng)兜中。本發(fā)明避免了析出金屬對(duì)拋光液的二次污染，解決了析出金屬的快捷回收問題，提升了作業(yè)效率。