光學(xué)檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010550699.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102148132A 公開（公告）日 2011-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN102148132A 申請(qǐng)公布日 2011-08-10
分類號(hào) H01L21/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 崔學(xué)峰;呂克振 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海瀾博半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201203 上海市張江高科技園區(qū)郭守敬路351號(hào)2號(hào)樓657-20室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光學(xué)檢測(cè)裝置，該檢測(cè)裝置設(shè)置在床體上一軌道的一端，與設(shè)置在軌道另一端的容置待檢產(chǎn)品的彈夾相對(duì)設(shè)置；檢測(cè)裝置至少包括：一與軌道相向設(shè)置的視覺機(jī)構(gòu)；一用于抓夾待檢產(chǎn)品的產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)，可移動(dòng)地設(shè)置在軌道上；一第一傳感器，設(shè)置在彈夾末端相對(duì)位置；一第二傳感器，設(shè)置在軌道的相對(duì)位置；還包括一控制機(jī)構(gòu)。本發(fā)明由于通過(guò)對(duì)在軌卡料狀況的檢測(cè)，可以有效防止檢測(cè)產(chǎn)品在檢測(cè)過(guò)程中被毀壞，進(jìn)而提高設(shè)備在運(yùn)行過(guò)程中的穩(wěn)定性；可以設(shè)置多種檢測(cè)的手段，改善檢測(cè)裝置的自動(dòng)化程度，提高檢測(cè)的精度；同時(shí)裝置尺寸小巧，結(jié)構(gòu)緊湊的特點(diǎn)，大大縮小了設(shè)備的占地空間。