光學(xué)檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010550699.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102148132B 公開（公告）日 2013-02-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN102148132B 申請(qǐng)公布日 2013-02-27
分類號(hào) H01L21/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 崔學(xué)峰;呂克振 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海瀾博半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201203 上海市張江高科技園區(qū)郭守敬路351號(hào)2號(hào)樓657-20室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光學(xué)檢測(cè)裝置，包括一與軌道相向設(shè)置的顯微鏡機(jī)構(gòu)；一產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)可移動(dòng)地設(shè)置在軌道上，產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)包括可開合的夾爪結(jié)構(gòu)及與軌道滑移配合的夾持支架；一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，與產(chǎn)品夾持機(jī)構(gòu)連接；一第一傳感器，設(shè)置在彈夾末端相對(duì)位置以使第一傳感器可檢測(cè)到在彈夾的出口處被卡住的待檢產(chǎn)品；一第二傳感器，設(shè)置在軌道的相對(duì)位置以使第二傳感器可檢測(cè)到滯留在軌道上的待檢產(chǎn)品；還包括一控制機(jī)構(gòu)，控制機(jī)構(gòu)包括報(bào)警裝置及一搖柄控制按鈕機(jī)構(gòu)相對(duì)設(shè)置；檢測(cè)裝置至少包括：一與軌道相向設(shè)置的視覺(jué)機(jī)構(gòu)；一用于本發(fā)明提高了設(shè)備在運(yùn)行過(guò)程中的穩(wěn)定性；可以設(shè)置多種檢測(cè)的手段，改善檢測(cè)裝置的自動(dòng)化程度，提高檢測(cè)的精度；同時(shí)裝置尺寸小巧，結(jié)構(gòu)緊湊的特點(diǎn)，大大縮小了設(shè)備的占地空間。